瑞士Sensirion 液體流量傳感器 - SLQ-QT500

產(chǎn)品介紹

一、新型SLQ-QT500液體流量傳感器產(chǎn)品描述

      新型SLQ-QT500液體流量傳感器可測(cè)水基液體以及碳?xì)浠匣后w，測(cè)量流量為120ml/min。這對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)中噴涂系統(tǒng)的合成以及其它行業(yè)中配量和流量應(yīng)用的廣泛組合是非常理想的。

      由于采用充分驗(yàn)證的熱式微傳感器科技，SLQ-QT500開(kāi)辟了在靈敏度，穩(wěn)定性和速度新的高度。觸液材質(zhì)為PFA配件及石英玻璃管。整個(gè)流路筆直且傳感器中沒(méi)有障礙物或移動(dòng)部件。SLQ-QT500幾乎適合任何粘度的液體以及在其對(duì)石英玻璃管無(wú)磨損的含小顆粒的液體。

      基于智能RS485數(shù)字接口的傳感器可長(zhǎng)距離通訊，具有較大的總線(xiàn)容量。出色的敏感度和測(cè)量速度讓監(jiān)督或控制快速配量操作成為可能。可通過(guò)自動(dòng)配量檢測(cè)獲得流體瞬時(shí)流量以及總配量輸出。在校準(zhǔn)H2O和異丙醇時(shí)可使用該傳感器。

二、新型SLQ-QT500液體流量傳感器特性

• 流量高達(dá)120毫升/分鐘（碳?xì)浠衔锖退后w）

• 快速響應(yīng)時(shí)間低至30毫秒

• 高低粘度液體用

• 具有小顆粒的液體用

• RS485數(shù)字接口

• 直流路徑，無(wú)移動(dòng)部件

• 保證純度

• 高敏感度低至zui低流量

• 超強(qiáng)耐化學(xué)性，惰性材料

• 觸液材質(zhì)：只有PFA和石英玻璃

• 最大工作壓力10 bar

三、新型SLQ-QT500液體流量傳感器應(yīng)用

• 高端半導(dǎo)體流程控制

• 工業(yè)自動(dòng)化

• 快速配量操作