美國Siargo MF5700系列便攜式氣體質(zhì)量流量計 - MF5706/MF5712

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傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了流量計的高精度計量
靈敏度高，能夠?qū)O小的始動流量就可以開始計量
在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了80:1甚至更高
全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

產(chǎn)品型號：: MF5706/MF5712

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產(chǎn)品介紹

一、美國SiargoMF5700系列便攜式氣體質(zhì)量流量計 產(chǎn)品簡介：

MF5700系列氣體質(zhì)量流量計是基于矽翔微機電系統(tǒng)有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。

該流量計同時實現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態(tài)時，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。微機電系統(tǒng)流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不同，因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。下圖為該系列流量計的原理框圖。